Alternating current rotatable sputter cathode

Cathode de projection rotative a courant alternatif

Abstract

La présente invention concerne un cible cathodique rotative à courant alternatif (28) dans une chambre à vide (12). L'appareil comprend un boîtier (24) sous vide renfermant une cathode. Un arbre d'entraînement est monté rotatif dans le boîtier du palier. Un joint à vide rotatif, qui est disposé dans le boîtier du palier, assure l'étanchéité de l'arbre d'entraînement (22) avec une première extrémité (22a) logée dans le boîtier. Au moins un contact électrique disposé entre une alimentation en courant (100) et la cathode transmet à cette dernière un courant oscillant ou fluctuant. L'appareil comprend des paliers (32, 34), des joints (20, 26), des parois (14, 16, 17, 18), un ensemble magnétique (29), un boîtier de balai (110), des fils de balai (114), un balai électrique (116), un isolant (21), une extrémité bride (22b), et un premier fil conducteur (102).
The present invention is an alternating current rotary sputter cathode target (28) in a vacuum chamber (12). The apparatus includes a housing (24) containing a vacuum and a cathode disposed therein. A drive shaft is rotatably mounted in the bearing housing. A rotary vacuum seal is located in the bearing housing for sealing the drive shaft (22) with a first end (22a) to the housing. An at least one electrical contact is disposed between a power supply (100) and the cathode for transmittal of an oscillating or fluctuating current to the cathode. The apparatus comprises bearing (32, 34), seals (20, 26), walls (14, 16, 17, 18), a magnetic array (29), a brush housing (110), brush leads (114), an electrical brush (116), an insulator (21), a flange end (22b), and a first conductive wire (102).

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